12寸三温自动探针台 森美协尔SEMISHARE A12

产品概要

支持SiC/GaN晶圆测试，大功率晶圆测试； 更换Chuck设计，可针对不同晶圆测试； 可与仪器仪表系统进行集成； 可升级高低温测试环境测试。

应用方向

晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等。

技术特点：

高测试精度与测试速度，大大提升产能效益；

全自动化系统运行，快速安全可靠测试；

支持单点测试和连续测试；

综合控制系统，快速接入仪器测试；

XY最大速度(丝杆结构)：250mm/s;(直线电机)：500mm/s；

Index time(丝杆结构)：280ms;(直线电机)：200ms；

丰富的软件自动化测试 ，机械精度精确校准；

可升级自动wafer厚度测量和ID读卡；

内部防震系统装置，运行更稳定。